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    他这个喻很简单形象，陆建川一听，便不再提这件事情了。

    每年五个亿当然不够，大头都是国家出的，杭雨投资这点钱只能算锦添花。杭雨自己也觉得少了点，于是又道：“如果公司效益好，我会酌情考虑你的建议。”

    陆建川露出笑容道：“感谢杭先生的支持。”

    杭雨突然觉得挺搞笑的，自己明明这么有钱了，却觉得不够用。

    “能给我讲一下光刻机的技术关键吗？”杭雨虽然不懂技术，但是对科技却很感兴趣。

    “当然可以，只要杭先生不嫌我讲的繁琐。”陆建川掂量着，怎么讲才能满足杭雨的好心，太专业肯定不行。

    “你说。”杭雨说道。

    “光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种。有用于生产芯片的光刻机，有用于封装的光刻机；还有用于led制造领域的投影光刻机。”陆建川介绍道。

    用于生产芯片的光刻机是国在半导体设备制造最大的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口，而且使用限制多。

    “光刻机的组成部分有很多，分别是承载硅片的测量台和曝光台，激光器是光源，光刻机核心设备之一。光束矫正器，矫正光束入射方向，让激光束尽量平行。能量控制器，控制最终照射到硅片的能量，曝光不足或过足都会严重影响成像质量。”陆建川说道。

    还有光束形状设置，设置光束为圆型、环型等不同形状，不同的光束状态有不同的光学特性。

    遮光器，在不需要曝光的时候，阻止光束照射到硅片。

    能量探测器，检测光束最终入射能量是否符合曝光要求，并反馈给能量控制器进行调整。

    掩模版，一块在内部刻着线路设计图的玻璃板，贵的要数十万美元。掩膜台，承载掩模版运动的设备，运动控制精度是纳米级的。
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